11表面あらさ・形状解析装置
12各種精密測定機器
13厚さ計・膜厚計・センサー
14変位計・変位センサー
15真円度計
16サーマルイメージング装置・部品システム
17電波高度計
18画像解析・測定・ファイル装置
19モアレカメラ・パターンアナライザー